5月18日-5月19日，由華林科納舉辦的2023泛半導(dǎo)體濕法交流會第五期：化學(xué)流體系統(tǒng)技術(shù)與應(yīng)用交流會在江蘇南通市成功召開。會議共邀請42家企業(yè)參會，參會人員96人。本期交流會安排了學(xué)術(shù)技術(shù)交流報告、流體展示及實操等多種形式的活動，交流高純流體在濕法領(lǐng)域的技術(shù)與應(yīng)用，并展示了超100種高純流體產(chǎn)品。

華林科納此次展廳參展產(chǎn)品包括PFA管（耐鹽酸）、PFA入珠接頭、PFA擴(kuò)口接頭、PFA焊接接頭、PFA手動隔膜閥、PVDF過濾器，PFA磁制液位伸縮計、PFA溫度探頭、PFA加熱絲、PTFE風(fēng)囊泵、在線加熱器等多種產(chǎn)品，并向參會人員展現(xiàn)實時潔凈車間生產(chǎn)，獲得了業(yè)內(nèi)人士的認(rèn)可。

PTFE風(fēng)囊泵

風(fēng)囊泵工作原理：壓縮空氣進(jìn)入泵的氣相工作腔后，壓縮風(fēng)囊變形移動，通過換向閥控制壓縮空氣依次進(jìn)入兩個氣相工作腔工作，利用液相腔的交替吸液排液，實現(xiàn)對液體的輸送。

華林科納自主研發(fā)PTFE風(fēng)囊泵，有CSE30、CSE60、CSE120三種型號，無金屬設(shè)計，安全無泄漏，無橡膠O型圈，不漏水，無需緊固，可滿足200萬以上的形成周期使用。

風(fēng)囊泵在濕法腐蝕清洗設(shè)備中主要有以下應(yīng)用：

（1）藥液恒溫控制：由風(fēng)囊泵、循環(huán)溢流槽、閥門、過濾器、管件、熱交換器，制冷機(jī)或加熱器等組成溫度控制系統(tǒng)。通過泵使藥液循環(huán)并在熱交換器內(nèi)進(jìn)行熱交換用以實現(xiàn)藥液的恒溫控制。

（2）藥液的循環(huán)過濾：由風(fēng)囊泵、循環(huán)溢流槽、閥門、過濾器、管件等組成藥液的循環(huán)過濾系統(tǒng)。實現(xiàn)藥液的循環(huán)過濾，均勻流場。保證工藝槽藥液溫度和濃度的均勻性。

（3）廢液回收和再利用：120℃以上強(qiáng)腐蝕性藥液（如SPM）使用后廢液如直接從工藝槽排至廢液管道，由于溫度高，將導(dǎo)致排液管道的損壞，引起安全事故，采用工藝槽內(nèi)自然冷卻的方法又耗時過長，影響生產(chǎn)效率。一般采用高溫風(fēng)囊泵將槽內(nèi)藥液輸送至降溫槽，在降溫槽內(nèi)降溫后再排入排廢管道，這種方法即節(jié)省了時間，又保證了生產(chǎn)的安全性，被業(yè)界所廣泛采用。

PFA氣動隔膜閥

選擇閥門需要考慮的因素：

工作和環(huán)境溫度、工作壓力和壓力等級、體積流量（Kv值）和流速、其他性能要求，例如混合、分配、控制和調(diào)節(jié)應(yīng)用；

化學(xué)性質(zhì)（惰性、腐蝕性、爆炸性）、機(jī)械性能（污染物、顆粒、氣泡形成、磨損、粘度）、電性能（電導(dǎo)率、靜電荷）、聚合狀態(tài)；

所需的控制功能（手動、氣動/液壓、電動、磁力）；安全要求（防爆、危險揮發(fā)性物質(zhì)、應(yīng)急功能）、環(huán)境條件（潔凈室、熱/冷、多塵、振動、化學(xué)、潮濕、戶外、鹽水和腐蝕性蒸汽 => 腐蝕性環(huán)境條件）、現(xiàn)有工廠設(shè)計（PLC、現(xiàn)場總線/通信接口、控制介質(zhì)）、遵守標(biāo)準(zhǔn)和法規(guī)。

流體的特定屬性必須根據(jù)其所有相關(guān)的物理和化學(xué)屬性進(jìn)行檢查。此外，不應(yīng)忽視潛在的相互作用，例如溫度、壓力或基于濃度的攻擊性之間的相互作用。

華林科納自主研發(fā)的PFA氣動隔膜閥采用高流量緊湊型設(shè)計，具有優(yōu)良的耐腐蝕性能，工作周期經(jīng)上千萬次測試，使用壽命長，潔凈室制造，純度高。連接尺寸有1/2”、3/4”、1”，閥門本體材質(zhì)為PFA，膜片材質(zhì)為PTFE，頂部外殼材質(zhì)為PE。

氣動隔膜閥產(chǎn)品概要：

隔膜閥減少了隔膜和閥體之間的環(huán)形間隙，產(chǎn)品可應(yīng)用于電子半導(dǎo)體行業(yè)、生物化學(xué)產(chǎn)業(yè)、醫(yī)藥制品生產(chǎn)線、石油化工產(chǎn)業(yè)、化學(xué)藥劑產(chǎn)業(yè)。

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